日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

簡(jiǎn)要描述：● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

產(chǎn)品型號(hào)： NRL60A/90A/180A

所屬分類：真空泵

更新時(shí)間：2024-08-23

詳細(xì)說(shuō)明：

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特長(zhǎng)

● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

● 低噪音、低振動(dòng)

● 優(yōu)良的耐腐蝕性

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

● 選購(gòu)件

可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途

◆ 活性氣體（CVD、刻蝕等）

◆ 排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

◆ 作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）

◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣